English | دوشنبه, ۲۶ آذر , ۱۳۹۷

منبع تغذیه RF

مشخصات فنی :

  • پایداری فرکانسی معادل0.005 ±56 مگاهرتز
  • دارای محدود کننده توان انعکاسی
  • کلید روشن / خاموش و تنظیمات در جلوی دستگاه
  • برق ورودی VAC 220 شهری 50 هرتز
  • دارای جعبه تطبیق امپدانس

کاربردها:

  • تولید نیمه هادی
  • لایه نشانی پلاسمایی فیزیکی و شیمیایی
  • لایه برداری پلاسمایی
  • انجام پردازش های مختلف تحت پلاسما
  • عملیات گرم کردن و ذوب دی الکتریک های تلفاتی
دسته:

توضیحات

منبع تغذیه RF

مولد فرکانس رادیویی ۱۰۰۰ وات با فرکانس ۱۳٫۵۶ مگاهرتز، یک منبع سیگنال سینوسی در محدوده ی فرکانس های رادیویی است که می تواند توانی معادل با ۱۰۰۰ وات را به یک بار الکتریکی ۵۰ اهم خالص تحویل دهد. این مولد از پیشرفته ترین مولدهای قابل دسترس در بازار تجاری حال حاضر ایران می باشد. کاربرد خاص این مولدهای فرکانس رادیویی تولید پلاسمایی خاص، موسوم به پلاسمای RF است.خروجی دستگاه سیگنالی سینوسی با فرکانس ۱۳٫۵۶ مگاهرتز و توانی حدود ۱۰۰۰ وات است. از آنجایی که محفظه پلاسما از نظر الکتریکی باری متغیر با زمان محسوب می شود و امپدانس آن از ابتدای فرآیند تا انتهای آن ثابت نیست، لازم است که بین مولد فرکانس رادیویی و محفظه ی پلاسما یک شبکه ی تطبیق قرار داده شده است. در جعبه ی تطبیق امپدانس با اندازه گیری امپدانس محفظه و اعمال کنترل مناسب بر روی المانهای موجود در آن، مولد فرکانس رادیویی در تمام طول فرآیند ( با وجود تغییر بار الکتریکی محفظه ) در خروجی خود بار ۵۰ اهم خالص را خواهد داشت.

ایمن بودن از نظر ایجاد تداخلات الکترومغناطیسی، قابلیت کار پیوسته، کنترل و کاربری آسان، نمایش توان انتقالی و انعکاسی، در یافت ورودی صفر تا پنج ولت برای کنترل توان خروجی ژنراتور، سیستم خنک کننده از ویژگی های دیگر این مولد می باشد.

طراحی سایت توسط فراکارانت